1960年，成立無線電電子學系，包括無線電器件與材料和半導體元件與材料等專業。9月，學校撤消無線電電子學系，分别設立無線電工程系和自動控制與工程數學系。

1961年，學校進行第一次專業調整，取消半導體元件與材料專業，其師資合并到無線電器件與材料專業。

1962年，無線電工程系和自動控制及工程數學系合并為無線電工程與自動控制系，包含設無線電技術專業、無線電材料與元件專業、電真空器件專業、自動控制專業。

1966年，無線電工程與自動控制系更名為無線電工程系，包括無線電技術專業、無線電材料與元件專業、電真空器件專業。

1968年，無線電材料與元件專業分為三個專業，即絕緣材料與電阻電容專業、磁性材料與器件專業、半導體材料與器件專業。

1970年，校矽元件廠并入無線電工程系，在矽元件廠内附設可控矽及其裝置專業。

1972年，無線電工程系分編為無線電工程一系和無線電工程二系，無線電工程二系下設無線電元件與材料教研組、半導體器件與材料教研組、電真空器件與材料教研組、磁性材料與器件教研組，校矽元件廠并入無線電工程二系。

1974年，為加速微電子學專業的建設，學校研究決定，成立微電子研究室，由無線電工程二系領導。

1975年，學校研究決定，無線電工程一系改名為電子工程一系，無線電工程二系改名為電子工程二系，同時成立電子工程三系，半導體器件與材料教研組從電子工程二系劃屬到電子工程三系。

1977年，學校決定，将電子工程一系與電子工程三系合并，合并後的名稱為電子工程一系，原電子工程一系的半導體材料與器件專業調歸到電子工程二系。

1978年，半導體材料與器件專業和可控矽及其裝置專業合并為半導體物理與器件專業。

1978年，學校決定，在電子工程二系設立固體物理教研室。

1979年，電真空專業取消，其師資大部分調光學系和電子工程系。

1980年，電子工程二系更名為固體電子學系。

1983年，學校決定撤消固體電子學系，成立物理和固體電子學系，電介質材料與器件專業、半導體物理專業、磁性材料與器件專業和物理教研室屬物理和固體電子學系領導。10月，物理和固體電子學系更名為物理系。

1984年，學校将原物理系撤消，分别成立物理系和固體電子學系。

1993年，根據國家教委的要求，學校将原電子材料與元器件專業和磁性物理與器件專業合并為電子材料與元器件專業，半導體物理與器件專業更名為微電子技術專業。

1998年，“固體電子學系”更名為“電子科學與技術系”。

2001年，“教育部敏感陶瓷工程研究中心”建立。

2003年，教育部、科技部批準6774澳门永利建設“國家集成電路人才培養基地”。

2007年，教育部人才培養模式創新試驗區—面向群體創新人才互動式培養試驗區正式挂牌。

2015年，教育部、發改委、科技部、工信部、财政部、外專局等6部門批準我校籌建國家示範性微電子學院。

2015年，東湖國家自主創新示範區和我校舉行共建武漢國際微電子學院揭牌暨雙方共建簽約儀式。

2019年，“集成電路設計與集成系統”專業獲批國家級一流本科專業。

2020年，“電子科學與技術”專業獲批國家級一流本科專業。

2021年5月，獲批建設國家集成電路産教融合創新平台。

2021年7月，6774澳门永利成立。

2021年10月，獲批“集成電路科學與工程”一級交叉學科博士學位授予權。

2021年11月，“微電子科學與工程”專業獲批國家級一流本科專業。