馬波研究員
郵箱：mabo@hust.edu.cn
辦公地點：機械科學與工程學院先進制造大樓東樓C502
個人簡介
馬波，男，1984年出生，博士，研究員，博士生導師。分别于2008年和2010年獲得吉林大學學士和碩士學位，2016獲得清華大學博士學位，師從尤政院士。2017年赴美國斯坦福大學CMUT技術發明人ButrusT. Khuri-Yakub教授課題組做博士後。2020年入職斯坦福大學電氣工程系E. L. Ginzton實驗室，同年與Khuri-Yakub教授創立OrchardUltrasound Innovation公司。2022年回國，2023年加入6774澳门永利至今。
聚焦智能微系統技術的前沿領域，開展智能微系統3D集成技術、高端微納芯片、MEMS智能傳感器、智能超聲診療裝備的研究。在IEEE T-UFFC、JMEMS、IEEE IUS等領域内頂刊及國際會議上發表SCI論文10餘篇。兼任T-UFFC、JAP、Applied Mathematical Modeling等期刊審稿人。獲授權發明專利10餘項，其中第一發明人申請2項美國專利群，獲授權2項美國專利及1項國際專利，以上專利成功實現成果轉化。
教育經曆
清華大學 精密儀器系 工學博士 2011年9月–2016年7月
吉林大學 儀器科學與電氣工程學院 工學碩士 2008年9月–2010年7月
吉林大學 儀器科學與電氣工程學院 工學學士 2004年9月–2008年7月
工作經曆
6774澳门永利機械科學與工程學院研究員 2022年8月–今
OrchardUltrasound Innovation初創公司高級研究員 2021年4月–2022年3月
斯坦福大學 電氣工程系 副研究員 2020年1月–2021年4月
斯坦福大學 電氣工程系 博士後 2017年1月–2019年12月
研究方向
先進微納加工技術
新型3D微納系統集成技術
高端MEMS芯片及智能傳感器
未來醫療超聲芯片、智能超聲微系統及其診療裝備
開設課程
暫無
科研項目
1.美國能源部高級研究計劃局，ThermoacousticRootImaging，2017.08-2021.12，223.5萬美元，結題，主要成員
2.美國國立衛生研究院，NovelTransducerTechnologyforTranscranialUltrasound，2018.01-2020.02，188.6萬美元，結題，主要成員
論文專著與專利
代表性論文：
[1]B. Ma, K. Firouzi and B. T. Khuri-Yakub. “Multilayer Masking Technology for Fabricating Airborne CMUTs with Multi-depth Fluidic Trenches.”Journal of Microelectromechanical Systems, Early access on IEEE Xplore.
[2]J. Joseph,B. Maand B. T. Khuri-Yakub. “Applications of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers: A Comprehensive Review.”IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and FrequencyControl,2022, Vol. 69, No. 2, pp. 456-467.
[3]B. Ma, K. Firouzi, K. Brenner and B. T. Khuri-Yakub. “Wide Bandwidth and Low Driving Voltage Vented CMUTs for Airborne Applications.”IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and FrequencyControl,2019, Vol. 66, No. 11, pp. 1777-1785.
[4]B. Ma,K. Firouzi, K. BrennerandB. T. Khuri-Yakub.“High Sensitivity and Wide Bandwidth Airborne CMUTs with Low Driving Voltage.”,IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2019,pp. 1201-1204. (Highest Score Abstract, OralReport).
[5]B. Ma, C. Chang, H. K. Oguz, K. Firouzi and B. T. Khuri-Yakub. “Multi-Parameter Optimization of Vented CMUTs for Airborne Applications.”,IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2017,pp. 1-4.
[6]B.Ma, Z.You, Y.Ruan, et al. “Electrostatically actuated MEMS relay arrays for high-power applications.”Microsystem Technologies, 2016, 22(4): 911-920.
[7]B. Ma, Z. You, Y. Ruan.“Vacuum Bouncing Dynamics Dominated by van der Waals Forces in MEMS Relays.”29thIEEEInternational Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS),2016, pp. 593-596.
[8]B. Ma, Z. You, Y. Ruan, S. K. Chang, G. F. Zhang.“High-Power MEMS Relay Array with Improved Reliability and Consistency.”18thIEEEInternational Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS),2015, pp. 2156-2159.
代表性專利：
[1]George Quintin Stedman,Bo Ma, Arif Sanli Ergun, Butrus T. Khuri-Yakub,Paul F. Cristman, and Kwan-Kyu Park,Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducerand Manufacturing Methods Thereof, No. 63/450,490.（美國發明專利群，含6-8項）
[2]Bo Ma, George Quintin Stedman, Arif Sanli Ergun, Gerard Touma, and Butrus T. Khuri-Yakub,Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer, No. 63/286,161.（美國發明專利群，含7-10項）
[3]Bo Ma, Jose Joseph, Kamyar Firouzi, and Butrus T. Khuri-Yakub,Contoured electrode for capacitive micromachined ultrasonic transducer, US20210220873.
[4]Bo Ma, Kamyar Firouzi, and Butrus T. Khuri-YakubandJose Joseph,Pulse train excitation for capacitive micromachined ultrasonic transducer, US20210220872.
[5]MA Bo, FIROUZI Kamyar, KHURI-YAKUB Butrus T., JOSEPH Jose,Contoured electrode and/or pulse train excitation for capacitive micromachined ultrasonic transducer, WO2021150519.
[6]阮勇，馬波，常雙凱，張高飛，尤政。MEMS繼電器、懸臂梁開關及其形成方法，中國，ZL2014101510016。
榮譽獲獎：
無。
