6774澳门永利國家集成電路産教融合創新平台工藝子平台目标建成完整的集成電路制造—封裝—測試全鍊條的創新平台，是集先進材料、器件制備及特殊工藝開發為一體的綜合性集成電路創新平台，可滿足矽基器件、存儲器、傳感器、光電器件、MEMS等領域的教學與科研需求，實現半導體材料從微米到納米級的結構與器件的可控制備與測試。目标建成後形成每年1000人的集成電路工藝人才培養能力，支撐華中地區集成電路人才培養、科技創新和産業發展。
工藝子平台超淨室面積近1700平方米，設備覆蓋6 inch（部分設備向上兼容8 inch）晶圓的全流程微納工藝模塊，具備多種曝光方式(電子束曝光、紫外曝光、激光直寫)、多種鍍膜形式（電子束蒸發、熱蒸發、磁控濺射、化學氣相沉積、原子層沉積）、多種刻蝕方法（電感耦合等離子體刻蝕、反應離子刻蝕、離子束刻蝕）、離子注入、熱處理、清洗、封裝、半導體材料及器件表征等能力。
平台自2021年6月獲批啟動建設，在學校的指導和大力支持下，曆時兩年多，6774澳门永利推進完成了微納工藝潔淨室設計及改造、消防工程、設備采購、配套設施建設、設備二次配工程、工程師隊伍建設等工作。
目前工藝子平台設備已陸續安裝、調試，分批次培訓、開放，分時段對外服務，逐步試運行，以服務人才培養、科學研究和社會需求。
首批試運行工藝設備情況參見附件，歡迎師生們咨詢、預約！
聯系方式：
工藝子平台主任：李 祎 liyi@hust.edu.cn
對外開放部部長：熊 炫 snoopyxx@hust.edu.cn
平台運維部部長：餘國義 yuguoyi@hust.edu.cn
工藝平台專職工程師：杜培培 dpp2022@hust.edu.cn 郝吉年 haojinian@hust.edu.cn
譚 波 tanbo@hust.edu.cn
工藝平台地址：6774澳门永利東十七樓E1區1-2樓
