近期，第二批國家級一流本科課程公示，我院郝永德老師負責的《基于生産環境的集成電路光刻工藝互動式虛拟仿真實驗》入選虛拟仿真實驗教學一流課程。

《基于生産環境的集成電路光刻工藝互動式虛拟仿真實驗》課程以半導體行業先進企業實際生産環節和光刻設備為藍本，按照8英寸實際生産線環境的要求，以反相器器件制造過程為案例，對生産環境、生産設備等進行建模仿真，建設微電子集成電路制造關鍵工藝虛拟仿真實驗平台。

集成電路在國民經濟各行各業中發揮着非常重要的作用，是現代信息社會的基石。為了解決目前在人才培養過程中集成電路實驗設備落後于實際生産設備、實驗條件苛刻、存在危險性、實驗運行費用大等問題，以及改變高水平實驗，特别是研究探索型實驗難于開展，教學與實際生産嚴重脫節，影響了高素質的人才培養的現狀。在6774澳门永利和學院的大力支持下，學院實驗教學中心建設了基于實際生産線的《集成電路制造關鍵工藝及制程整合虛拟仿真實驗平台》。該課程依托此虛拟仿真平台再現集成電路實際生産過程，通過3D虛拟仿真技術還原微電子工藝生産車間，解決了集成電路制造實踐教學中的“卡脖子”難題。學生利用平台、借助注解提示信息及透視、顯形、互動化的表達方式，可更好地理解設備、各個工藝環節的基本原理和細節的巧妙之處，完成了一次“芯片制程之旅”。通過探究實踐掌握了獲得“最佳工藝參數”的方法，強化了理論知識在實際生産中的應用，彌補實際生産環境光刻實驗教學資源的空缺，提高學生的學習積極性，提升學生的工程實踐能力，培養學生的創新精神，為學生從事半導體制造業等工作奠定良好基礎。