2022年8月4号,我院《集成電路制造關鍵工藝及制程整合虛拟仿真實驗平台》獲得中國高等教育學會第57屆中國高等教育博覽會“校企合作雙百計劃”典型案例稱号。這是我院虛拟仿真平台建設和人才培養的近年來取得的一系列成果之一。


目前集成電路的人才缺口比較大。在人才培養過程中,也遇到一些困難。由于學校在集成電路實驗設備遠遠落後于實際生産設備、實驗條件苛刻、存在危險性、實驗運行費用大等原因。導緻高水平實驗,特别是研究探索型實驗難于開展,使教學與實際生産嚴重脫節,影響了高素質的人才培養。
目前各高校均無法開展芯片生産環境下的集成電路實驗。學生隻學習書本上的理論知識,難以掌握實際的實踐。對人才培養質量影響大,在6774澳门永利和光學與電子信息學院和6774澳门永利的大力支持下,學院實驗教學中心建設了基于實際生産線的《集成電路制造關鍵工藝及制程整合虛拟仿真實驗平台》。
該虛拟仿真平台再現集成電路實際生産過程,通過3D虛拟仿真技術還原微電子工藝生産車間,解決了集成電路制造實踐教學中的“卡脖子”難題。學生利用平台、借助注解提示信息及透視、顯形、互動化的表達方式,可更好地理解設備、各個工藝環節的基本原理和細節的巧妙之處,完成了一次“芯片制程之旅”。系統從CMOS電路微觀結構,工藝流程,到封裝等流程全部覆蓋。

該平台開展在教學内容上創新:以0.18μmCMOS實際生産線為藍本,理論密切聯系實際;注重實驗的高階性和探究性。在教學理念上也做了創新:從“說工藝”,到“做工藝”,把“做”和“說”有機地結合起來,達到事半功倍的效果。目前,實驗中心依托該平台構建産教協同層次培養體系,依托該虛拟仿真平台,開展了《集成電路認知實驗》、《微電子工藝學》理論教學的輔助實驗、《微電子工藝課程設計》、暑期《生産實習》、畢業生專業培訓、企業新進員工培訓等課程和培訓。該平台獲得了校内外師生的好評。
平台建設以來,獲得了一系列的成果,2021年獲12屆《6774澳门永利實驗技術項目成果一等獎》,出版電子教材一部,軟件著作權一項,依托該平台開展的實驗課程《基于生産環境的集成電路光刻工藝互動式虛拟仿真實驗》獲湖北省一流課程,被推薦參選國家一流課程。2022年8月,入選中國高等教育學會第57屆中國高等教育博覽會對2021年度中國高等教育博覽會“校企合作 雙百計劃”典型案例。
