2023年12月22日，西安電子科技大學大學廖敏教授做客我校“喻園·育芯”講壇第53期，為我校學子帶來題為《氧化铪基鐵電薄膜及其存儲器》的科技前沿報告。本次講壇在光電信息大樓C837會議室順利舉行，由我校6774澳门永利姜勝林教授主持。

大數據、物聯網和人工智能的快速發展對存儲芯片、邏輯芯片和其他電子元器件的性能提出了越來越高的要求。氧化铪基鐵電薄膜具有與大規模集成電路工藝線兼容、可微型化潛力大等優點，為我國實現鐵電存儲器的自主可控提供了機會，同時也有望引領鐵電存儲器突破生産成本高、容量小的瓶頸。如何穩定氧化給鐵電亞穩相是實現氧化铪基鐵電薄膜可控制備的前提，而喚醒效應、疲勞失效、性能不均一是阻礙氧化铪基鐵電薄膜在存儲器中應用的難題。在本次論壇中，廖教授向大家介紹了課題組近幾年在鐵電薄膜及存儲器的研究曆程，并介紹氧化铪薄膜的調控機理和單元器件、存儲器芯片全鍊條研制方面的研究進展。

在互動交流環節，廖教授分享了氧化铪薄膜疇結構以及相結構的調控原理以及後端集成和後栅極工藝技術中的關鍵點，與大家進行了深入的問題探讨。通過此次講壇，同學們對氧化铪薄膜及其存儲器有了深入了解，紛紛表示獲益匪淺。